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微电子洁净室实例

     微电子洁净室实例

    洁净度等级ISO等级

    气流流型

    平均风速(m/s)

    单位面积送风量(m3/m2.h)

    应用实例

    2

    单向流流型

    0.3-0.5

    /

    光刻,半导体工艺区

    3

    单向流流型

    0.3-0.5

    /

    工作区,半导体工艺区

    4

    单向流流型

    0.3-0.5

    /

    工作区,多层掩膜工艺、密盘制造半导体服务区、动力区

    5

    单向流流型

    0.2-0.5

    /

    6

    非单向流流型

    0.1-0.3

    /

    动力区、多层工艺、半导体服务区

    单向流流型或非单向

    /

    70-160


    7

    非单向流流型

    /

    30-70


    服务区

    单向流流型或非单向

    /

    8

    非单向流流型

    /

    10-20

    表面处理

    单向流流型或非单向

    /



    图1 微电子洁净室实例-人员净化程序

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